空氣式粒子計數器校正服務(Airborne Particle Counter)

美國聯邦法規FED-STD-209E，在國際標準ISO14644系列1999年尚未制定公佈前，長久以來即為規範潔淨室和區域等級及相關測試行為之唯一規範，廣泛在國際上為業界使用。FED-STD-209E為美國 GSA(GeneralServices Administration)所公佈，由國際協會組織IEST(Institute of Environmental Sciences andTechnology)負責撰寫維護，IEST亦同時為ISO/TC209技術委員會之秘書處，為 ISO、ANSI、FED、MIL STD相關法規之起草、撰寫及維護單位。直到ISO14644系列規範公佈發行後，2001年11月29日，GSA根據IEST工作小組CC100之建議，不再維護FED-STD-209E，GSA因而發出一份取消通告，說明由國際標準ISO14644-1及ISO14644-2取代原FED-STD-209E。儘管如此，FED-STD-209E還是廣泛為工業界、儀器製造商所參考；ISO14644-1及ISO14644-2法規內容也大致承襲其原內容，只是範圍更寬廣，並以公制單位表示。FED-STD-209E空氣微粒子等級表如下表所示。

TABLE I-AIRBORNE PARTICULATE CLEANLINESS CLASS

Class limits are given for each class name. The limits designate specific concentrations(particles per unit volume)of airborne particles with sizes equal to and larger than the particle sizes shown